本实用新型公开了一种具有温度补偿功能的两片式MEMS陀螺仪，包含设置在基板上的MEMS陀螺仪芯片和ASIC芯片，在MEMS陀螺仪芯片和ASIC芯片下方的基板内部嵌入温度反馈系统，使MEMS陀螺仪芯片和ASIC芯片通过温度反馈系统形成导热通路。本实用新型提供的具有温度补偿功能的两片式MEMS陀螺仪，使专用集成电路芯片不仅可以对自身温度进行检测，而且可以对MEMS器件的温度变化作出有效反馈。1.一种具有温度补偿功能的两片式MEMS陀螺仪，其特征是，包含设置在基板上的MEMS陀螺仪芯片和ASIC芯片，在MEMS陀螺仪芯片和ASIC芯片下方的基板内部嵌入温度反馈系统，使MEMS陀螺仪芯片和ASIC芯片通过温度反馈系统形成导热通路。
